光刻机风波再起:ASML刚松口,6项关键技术直接被纳入清单!

ASML宣布:DUV光刻机可直接向中国用户出口

目前,全球的高端光刻机市场几乎被ASML这家荷兰光刻机巨头垄断,尤其是EUV光刻领域,ASML更是全球唯一供应商。正因为其拥有垄断地位,阿斯麦严格把控了光刻机的出口,给我们带来了不小的困扰。

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但是不久之前,ASML首席财务官在财报视频会议上宣布,向中国客户出口DUV光刻机已经无需申请出口许可证。“根据当前法规,我们无需获得美国的出口许可证便可以直接向中国客户供货,对于直接从美国发货的DUV系统和零件受到法规影响的客户,ASML需要获得许可证。”CEO Peter Wennink表示。

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显然,在光刻机出口限制上,ASML已经对中国客户松口。对此,外界猜测由于此前国内中科院宣布入局光刻机领域,ASML等光刻机出口商为了长期利益及合作关系,所以在规则上给予中国客户特殊对待,不过到底是什么原因我们也不用去探究,总归这是一个好消息。

光刻机风波再起!美国BIS将6项关键技术纳入管制清单

然而让人没有想到的是,ASML刚松口,美国却做出了新的动作。近日,美国商务部工业安全局(BIS)宣布将6项关键技术添加到出口管制清单中(CLL)。

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值得注意的是,美国实施出口管制的6大技术都与芯片制造环节最重要的设备光刻机有关,包括用于5nm市场精加工晶圆的某些技术以及特定的计算光刻机软件等6项内容。如今5nm芯片的崛起意味着现在已经迈入高端芯片时代,而用于制造5nm芯片的EUV光刻机的重要性可想而知。

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而唯一掌握EUV光刻机生产的ASML公司,其最大的两大股东都是美国公司,另外ASML掌握的EUV光刻机的高精技术实际上不少是美国持有的。也就是说,美国将6项关于光刻机的关键技术列入出口管制清单,也就相当于给ASML的光刻机出口加了一道“锁”。

这样一来,国内市场无疑是受这场风波影响最大的,国内的高端芯片制造技术或将被封锁。说到底,中科院宣布将光刻机纳入任务表还是非常有必要的,我们现在在芯片制造环节,尤其是高端芯片的制造,我们基础还是太薄弱了。

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现在首要的就是实基础,待国内芯片制造技术成长为一颗屹立不倒的“参天大树”。

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