极紫外光刻

比利时微电子研究中心（IMEC）利用ASML极紫外光刻设备，成功实现纳米孔全晶圆级制造，为生物医学传感技术带来重大突破。这一技术可高灵敏度检测单个分子，有望应用于病毒、蛋白质和DNA的精准鉴定。#生物医学技术# #纳米科技#